槽式湿法刻蚀清洗设备

Wet bench

设备配置说明：

设备类型：Cassette-type & Cassetteless-type，支持SMIF或Foup 晶圆尺寸：150mm, 200mm, 300mm 设备配置：8~12 个槽体, 2~6 个Robot（可定制）                 可搭载先进超声波, 兆声波                 槽体过温保护, 各Module配置漏液传感器                 多级Wafer保护措施                 支持化学液C.C.S.S / L.C.S.S                自动换酸, 自动补液、配液( 可兼容多种浓度配比                先进Marangoni干燥                 加热控制, 浓度控制, 流量控制, 压力控制                 化学液/水, 直排&回收 可靠性能：Uptime≥95%           Breakage≤1/10000                  MTBF≥720hours      MTTR≤3 hours       软件控制：PC+PLC+GUI 控制, 支持Schedule、EAP、FDC功能